سیستم کامل لایه نشانی و زدایش مجهز به چشمه یون، تفنگ الکترونی، منبع تبخیر حرارتی و کاتداسپاترینگ مدلهای ITS و IDS
چاپ مقالهی اعضا گروه پژوهشی فناوری خلأ سازمان جهاددانشگاهی صنعتی شریف در مجله بینالمللی Vakuum in Forschung und Praxis (VIP)-Wiley